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离子束辐照制备铌酸锂纳米点畴结构的方法和装置

743   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 21:04:21
本发明一种离子束辐照制备铌酸锂纳米点畴结构的方法和装置。本发明方法为:1)将待加工的铌酸锂样品固定在离子束刻蚀设备的样品台上,调整使离子束的入射角达到工作角度;调整使离子源的中心与工件中心重合;2)将离子束刻蚀设备抽至高真空,真空度低于2×10‑3Pa;通入高纯度99.999%惰性气体氩气或氙气,利用气体流量计控制气体流量,使工作真空保持在2×10‑2 Pa到8×10‑2Pa;3)设置样品台旋转速度、开启离子源,对铌酸锂样品进行离子束辐照,样品台的转速为6~80转/分钟;4)将辐照后的铌酸锂晶体置于高温炉中进行温度80~350℃,时间0.2~3小时的热处理。本发明利用离子轰击在样品表面诱导形成自组织纳米点畴结构,并且可以通过调控离子束参数来控制所获得的纳米畴结构的特征。
声明:
“离子束辐照制备铌酸锂纳米点畴结构的方法和装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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