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基于软质磨料固着磨具的钽酸锂抛光方法

1025   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 21:03:00
一种基于软质磨料固着磨具的钽酸锂抛光方法,包括以下步骤:1)基于软质磨料固着磨具原料的配制;2)将配置好的配料在模具中热压成形,脱模后完成热固化,并对其上下端面进行修整,保证磨具上下端面的平整度和平行度;3)将钽酸锂抛光磨具安装于抛光机的上盘,待加工的钽酸锂晶片放置在会旋转的抛光机下盘,用夹具固定住,启动抛光机,并在上下盘之间注入碱性水基冷却液;加工过程中氧化剂、磨粒和钽酸锂晶片发生固相反应,在钽酸锂晶片表面形成一层软质的、易去除的反应生成物,利用磨料与生成物层之间的摩擦作用将生成物层去除,从而实现钽酸锂晶片的抛光。本发明能够提高钽酸锂晶片的去除率并能降低粗糙度,提高加工效率、降低生产成本。
声明:
“基于软质磨料固着磨具的钽酸锂抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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