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使用至多一个金属锂沉积工位形成电致变色叠堆

959   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:01:36
本公开描述了使用至多一个金属锂沉积工位形成电致变色叠堆的各种方法。在一些方面，一种方法可包括仅在电致变色叠堆的电致变色对电极内沉积金属锂。在一些方面，一种方法可包括使用含锂陶瓷对电极靶来形成电致变色对电极，以及仅在所述电致变色叠堆的电致变色电极内或上方沉积金属锂。在一些实施例中，一种方法可包括使用含锂陶瓷电极靶，以及任选地另外沉积金属锂以将移动锂添加到所述电致变色叠堆。在一些实施例中，一种方法可包括使用单个金属锂沉积工位来在离子导电层和所述电致变色叠堆的电致变色电极之间沉积金属锂。
声明：
“使用至多一个金属锂沉积工位形成电致变色叠堆” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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