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能够大面积制备锂离子固体电解质薄膜的方法

994   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 21:00:29
本发明涉及一种能够大面积制备锂离子固体电 解质薄膜的方法。它采用电子束加热方法与氮离子源发生器相 结合，沉积锂磷氧氮(LiPON)薄膜。与射频磁控溅射等方法相 比，沉积面积大近10倍。由本方法制备的锂磷氧氮薄膜，其Li离子传导率可达2～5×10－6s/cm。结合Ag0.5V2O5等薄膜电极与热蒸发制备的金属锂薄膜电极可组装成全固态薄膜锂离子电池，该电池具有良好的充放电性能。
声明：
“能够大面积制备锂离子固体电解质薄膜的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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