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钽酸锂晶体基片的黑化处理方法

854   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:57:25
一种钽酸锂晶体基片的黑化处理方法，在化学还原气氛中，将金属片与钽酸锂晶体基片之表面进行粗化后以接触方式交替堆叠，置于低于居里温度的环境中，对钽酸锂晶体基片进行还原处理，使钽酸锂晶体基片由白色或淡黄色转变为有色不透明化，依然保持其原有之压电材料特性。钽酸锂晶体基片经还原处理可降低其体电阻率，可改善声表面波滤波器（SAW filter）制造过程中因温度差异引起热释电效应产生的放电现象，并提高叉指电极线条于光刻工艺的精度，有助于提升SAW器件制作的成品率降低生产成本。
声明：
“钽酸锂晶体基片的黑化处理方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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