一种钽酸锂、铌酸锂晶片电阻率测试装置,包括第一透明板、第二透明板、第一柔性环形圈、第二柔性环形圈,第一柔性环形圈设置在第一透明板的内侧侧壁上,第二柔性环形圈设置在第二透明板的内侧侧壁上,还在第一透明板的内部设置第一测试液注入通道和第一排气通道,还在第二透明板的内部设置第二测试液注入通道和第二排气通道,本实用新型中通过将待测晶片进入电解液的方式引出待测晶片的两极,这种方式对测试后晶片无损伤、无影响,冲洗后仍然可以作为成品使用;通过第一柔性环形圈、第二柔性环形圈限定晶片的测试面积,对晶片表面无划伤、无破坏;通过从电解液中插入电极的方式引出晶片的两极,电阻无损耗,测试精度高。
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