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处理铌酸锂或钽酸锂晶片的方法

1026   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:51:52
本发明公开了一种处理铌酸锂或钽酸锂晶片的方法，是将待处理的铌酸锂或钽酸锂 晶片分别置于坩埚中，加入预先按质量比例混合均匀的铁粉和碳酸锂粉，完全覆盖晶片， 然后将此刚玉坩埚置于热处理炉中，在流量为0.5～1L/min的氮气气氛下，以450～550 ℃温度条件进行热处理3～20小时，制得成品铌酸锂或钽酸锂晶片。本发明方法制备的 晶片电阻率在109～1012Ω·cm量级，相比于常规未处理晶片，电阻率大幅度降低，并 且本发明的方法能够以短时间的热处理有效地制备SAW器件所需要的晶片，增加了元件 制造过程中的成品率，成为工业化的优选方法。
声明：
“处理铌酸锂或钽酸锂晶片的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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