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锂化壁处理抽气系统的可再生式锂蒸汽过滤系统

930   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:46:47
本发明公开了一种锂化壁处理抽气系统的可再生式锂蒸汽过滤系统，安装在EAST锂化壁处理抽气分子泵与EAST装置真空室之间，在EAST锂化壁处理期间，含有锂蒸汽等颗粒的气体经过该过滤系统时会依次与四套伞状障板系统碰撞而吸附在其上面，从而减小这些有害气体分子达到分子泵的几率，因而可以起到对分子泵的保护；该套过滤系统在使用一段时间后可以利用本身自带的再生系统进行冲洗、烘烤、抽气操作而再生，以便把障板系统及管道器壁上附着的锂涂层等有害物质去除，方便后续继续使用。该系统的成功研制可以最大程度上减小EAST锂化过程中锂蒸汽等有害气体分子对分子泵的影响。
声明：
“锂化壁处理抽气系统的可再生式锂蒸汽过滤系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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