本发明涉及含锂过渡金属氧化物靶,其由晶系为六方晶系的含锂过渡金属氧化物的烧结体构成,并且烧结体的相对密度为90%以上、平均结晶粒径为1ΜM以上、50ΜM以下;以及,其由晶系为六方晶系的含锂过渡金属氧化物的烧结体构成,其中,通过使用CU KΑ射线的X射线衍射测得的(003)面、(101)面、(104)面的强度比满足下述(1)和(2)的条件:(1)(101)面相对于(003)面的峰值比为0.4以上、1.1以下;(2)(101)面相对于(104)面的峰值比为1.0以上。本发明提供用于形成三维电池、全固体电池等薄膜电池中使用的薄膜正极的最佳含锂过渡金属氧化物靶及其制造方法以及锂离子薄膜二次电池。本发明的课题特别在于得到能够形成均匀性优良的薄膜的
正极材料靶。
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“含锂过渡金属氧化物靶及其制造方法以及锂离子薄膜二次电池” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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