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锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系及制备方法

764   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 20:46:45
本发明公开了一种锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系,包括单晶硅基板,单晶硅基板上自下而上依次设有TiN阻挡层、Al薄膜层、SiAlCO薄膜层、SiCO薄膜层、SiO1/3薄膜层和Si薄膜层。本发明通过将SiCO和硅这两种极具潜力的负极材料相结合,通过比容量和力学性质的梯度设计,综合体现出材料各自的优点并相互弥补不足。采用磁控溅射方法和硅、铝、石墨等靶材制备薄膜体系,具有附着性好、成本低、成份可控和低温等优点;还通过对SiCO表面进行纳米化处理,进一步加强了锂扩散和界面结合强度,最终得到具有优异电化学特性和界面力学性能的新型薄膜电极体系,且化学腐蚀法制备SiCO纳米表面具有过程简单快捷、无需贵重仪器、原料丰富廉价、纳米形貌可控等优点。
声明:
“锂电池SiCO-Si梯度薄膜电极体系及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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