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6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺

783   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 20:43:47
本发明属于酸锂晶片用具技术领域,尤其涉及一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺。本发明公开了一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺,其步骤如下:A:切割成厚度0.6-1mm的晶片;B:把晶片装入还原炉内还原;C:研磨后用超声波清洗干净;D:粘片工艺;E:研磨工艺;F:抛光工艺;G:清洗工艺:然后装盒。本发明采用2次腐蚀去除晶片内部应力,晶片黑化去静电荷,机械化学法抛光达到超光滑平面,使得各项指标达到TTV<5um,BOW<40um,warp<40um?PLTV>95%适合大批量生产。
声明:
“6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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