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铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法

891   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:43:47
本发明公开了一种铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法，包括以下步骤：(1)将抛光后的铌酸锂晶片或钽酸锂晶片置于密闭装置中，然后充满还原性气体；(2)按照设定好的图形，激光欠焦照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，通入惰性气体排出还原性气体，得到局域黑化的晶片。所述激光欠焦的参数为：激光波长为1064nm，激光功率为4～10W，欠焦距离为0.50～2.50cm，扫速为100～600mm/s。本发明在还原性气体氛围内，采用激光照射铌酸锂晶片或钽酸锂晶片，能够快速实现晶片黑化，同时还可以对黑化的区域进行选择，达到局域化黑化的目的。
声明：
“铌酸锂晶片/钽酸锂晶片局域快速黑化方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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