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PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置

980   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:41:07
本实用新型提供了一种PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置，涉及新能源技术领域，包括收片盒、和放置装置，放置装置包括有U形槽、升降板和液压升降机，U形槽内嵌入设置有升降板，升降板的底部表面中央焊接设置有液压升降机，U形槽的左侧表面外部贯穿设置有进气管，U形槽的内侧表面中央嵌入设置有倾斜管，升降板的上表面中央焊接设置有定位块，收片盒包括有倾斜底板、海绵层和贯穿槽。本实用新型通过倾斜管的设置使得气管中的气体通过进气管进入到倾斜管从倾斜管吹出，气体吹出使得硅片从自动上下料机上的轨道上滑落时减轻硅片对收纳盒内部表面的撞击力，且使得硅片与硅片之间不易发生摩擦，从而导致出现划痕。
声明：
“PECVD硅片自动上下料机用收片盒及放置装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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