本实用新型涉及一种多晶坩埚氮化硅浆料喷涂装置,属于
光伏发电与新能源科技技术领域。该喷涂装置包括压缩空气进气总管道、气枪压缩空气管道、吹扫气枪、喷枪等。本实用新型所述的一种多晶坩埚氮化硅浆料喷涂装置结构简单、操作方便,在喷涂多晶高效坩埚时能有效分配底部和侧部氮化硅喷涂量,解决影响粘埚裂纹及引晶效果不稳定的现象,降低了硅片的缺陷,有效的提高并稳定了硅片效率。
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