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准静态偏转的电热式MEMS微镜

825   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:35:45
本实用新型公开了一种准静态偏转的电热式MEMS微镜，该电热式MEMS微镜包括基底层、电热驱动层和镜片应用层；电热驱动层从上至下依次为高膨胀层、电阻加热层、低膨胀层，电热驱动层的一端与基底层连接，另一端可以相对于基底层进行偏转，电阻加热层通过引线连接外部电源；当电阻加热层通电发热使高膨胀层、低膨胀层吸热膨胀并产生弯曲，带动镜片应用层沿电热驱动层与基底层的连接端偏转，调节电阻加热层的电流可以控制高膨胀层、低膨胀层的温度以及镜片应用层的偏转角度。基于本实用新型制造的光调配器件，能够实现光线聚焦、反射、散射等多种功能，应用于多个领域，在新能源利用及绿色环保方面有着非常好的应用前景。
声明：
“准静态偏转的电热式MEMS微镜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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