合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 新能源材料技术

> 减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺

减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺

849   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:32:55
本发明涉及新能源技术领域，特别涉及一种减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺。一种减少管式PECVD插片划伤的方法，该方法主要过程是将空舟放入PECVD炉管，在石墨舟上镀一层氮氧化硅膜，具体包括以下步骤：第一步：空石墨舟进入PECVD管；第二步：用氮气对PECVD管吹扫，去除PECVD管内的空气；第三步：对PECVD管进行抽真空；第四步：沉积氮氧化硅；第五步：用氮气对PECVD管吹扫，去除PECVD管内的SiH4/N2O气体；第六步：退出石墨舟。采用在石墨舟表面镀氮氧化硅膜为阻挡层的这种方式，降低石墨舟与硅片的直接接触，减少插片时的划伤，改善电池片的外观。
声明：
“减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
新能源
上一个：移动式汽车充电桩
下一个：旋转变压器电磁干扰噪声的测评及抑制方法

与 “减少管式PECVD插片划伤的方法及采用该方法的镀膜工艺” 相关技术

▪ 基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪ 支架安装方便的太阳能光伏组件
▪ 高强度铝合金材料及其制备方法
▪ 全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪ 含重金属的氨氮废水的处理方法
▪ 可智能调节的光伏板组件支架
▪ 多晶硅生产废水的处理回收系统
▪ 高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪ 高效冶金真空吸铝装置
▪ 真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

相关新能源材料设备推荐

多工位真空管式炉
四氧化三钴
1400真空气氛箱式炉
锂电池套膜机
DEX行星式搅拌机
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪基于智能控制的再生铝冶炼炉
▪支架安装方便的太阳能光伏组件
▪高强度铝合金材料及其制备方法
▪全膜法处理光伏单晶硅片废水回用技术
▪含重金属的氨氮废水的处理方法
▪可智能调节的光伏板组件支架
▪多晶硅生产废水的处理回收系统
▪高盐含氨废水处理系统及节能运行工艺
▪高效冶金真空吸铝装置
▪真空感应熔炼炉可调节自动泄压装置

报名参会
更多+

2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
2024年11月29日 ~ 12月01日
2024国际新型功能材料与器件会议
2024国际新型功能材料与器件会议
2024年12月06日 ~ 08日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:219
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:115
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:111
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:97
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:69
2024退役新能源器件循环利用技术交流会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
7粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记