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基于可控生长中心制备碳化硅单晶的方法

834   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:25:14
本发明公开了一种基于可控生长中心制备碳化硅单晶的方法，属于晶体生长领域。本发明通过在粉料和生长腔室内放置偏向的生长组分导流装置来调控生长组分流的传输方向和输运组分流密度，优先形成一条狭长的生长中心小面并保持一直处于生长面边缘位置，从而使得所需单晶直径内维持均衡的台阶流生长模式，并可完整地维持籽晶的晶型，最终能够获得单一晶型高质量的碳化硅晶体。本发明方法制备的高质量碳化硅单晶，可广泛地应用在新能源电动汽车、机车牵引、工业自动化、不间断电源、大功率充电桩以及能源互联网等电力电子领域。
声明：
“基于可控生长中心制备碳化硅单晶的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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