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多结砷化镓太阳电池一次腐蚀工艺方法

784   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:22:46
本发明属于新能源以及空间电源领域，涉及一种多结砷化镓太阳电池一次腐蚀工艺方法，可利用单一腐蚀液一次腐蚀制备隔离槽及划片槽。该发明公开了一种隔离槽/划片槽一次腐蚀制备工艺，包含了光刻胶保护工艺、一次腐蚀工艺，其中隔离槽腐蚀是制备集成旁路二极管的关键工序。其特征在于：该工艺通过光刻胶掩蔽工艺制备图形，通过单一腐蚀液一次腐蚀至衬底层；一次腐蚀可同时腐蚀正面外延层及背面衬底材料；一次腐蚀可同时制得隔离槽及划片槽；通过一次腐蚀、电极蒸镀、合金等工序制得的旁路二极管可保护太阳电池免受“热斑”等空间损害；通过一次腐蚀制得划片槽，直接切割划片槽可避免边缘机械损伤，影响电池电性能。
声明：
“多结砷化镓太阳电池一次腐蚀工艺方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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