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用于制造二硫化钼量子点阵列的设备与工艺方法

1070   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:18:18
本发明实施例公开了一种用于制造二硫化钼量子点阵列的设备与工艺方法，涉及新能源技术领域，便于推进MoS2量子点产业化和大规模应用。本发明的方法包括：加工腔体系统、源路系统、等离子体系统、激光系统、尾气处理系统和真空系统(19)，所述激光系统安装在所述加工腔体系统上方，所述等离子体系统布置在所述加工腔体系统的外表面，所述源路系统的管路连接所述加工腔体系统，所述真空系统(19)的一端连接所述加工腔体系统，所述真空系统(19)的另一端连接所述尾气处理系统。本发明适用于MoS2量子点的制造。
声明：
“用于制造二硫化钼量子点阵列的设备与工艺方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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