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基于核/壳结构硅纳米线组的肖特基二极管的制备方法

698   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:18:17
本发明公开了一种基于核/壳结构硅纳米线的肖特基二极管制备方法，该方法包括：硅片清洗、背电极制备、硅纳米线制备、硅纳米线间隙填充及沉积Pt薄膜等步骤；其硅纳米线为核/壳结构，硅为核、表面氧化层为壳，在应用时无需去除表面氧化层，所制备的肖特基二极管电流传输机制为缺陷辅助隧穿机制，具有优良的整流特性，在纳米器件领域和新能源领域具有广阔的应用前景。本发明具有制备方法简单，对环境、成本要求低，高重复性，适用于大规模工业生产。
声明：
“基于核/壳结构硅纳米线组的肖特基二极管的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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