本发明实施例公开了一种用于制造硫化锌、硫化铅和硫化镉量子点的方法及设备,涉及新能源技术领域,能够用来高精度、低成本、大规模地制造量子点阵列。本发明包括:激光加工头1与激光器相连,并且激光加工头1竖直向下指向样品支架25;反应腔体3上顶部开设有开口,开口中安装玻璃窗口2,以便于激光加工头1射出的激光透过玻璃窗口2向样品支架25照射,样品支架25用于放置样品基底26;样品支架25安装在反应腔体3中,反应腔体3的两侧分别安装有微波源4和与微波源4相对应的调谐器;反应腔体3接入了五条管路,各个管路分别输送不同类别的前驱体气体。本发明适用于硫化锌、硫化铅和硫化镉量子点制造。
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