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超级结碳化硅MOSFET器件及其制作方法

845   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:15:22
本发明公开了一种超级结碳化硅MOSFET器件及其制作方法，主要解决现有高压碳化硅MOSFET导通电阻较大的问题。该器件包括：源极（1）、栅极（2）、栅氧介质（3）、N型源区（4）、P阱区（5）、JEFT区（6）、P型外延柱区（7）、N-外延（8）、P型衬底柱区（9）、N+衬底（10）和漏极（11），其中在P阱的正下方的N+衬底与N-外延的部分分别设有P型外延柱区（7）和P型衬底柱区（9），本发明可以有效降低器件的导通电阻，同时改善器件体内的电场分布，提高器件的耐压。本发明器件具有击穿电压高，导通电阻低，开关速度快、开关损耗低等优点，同时制作工艺简单，易于实现，可用于电力电子变压器，新能源发电、光伏逆变器等领域。
声明：
“超级结碳化硅MOSFET器件及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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