合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 新能源材料技术

> 纳米柱森林的加工方法

纳米柱森林的加工方法

840   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 20:13:33
本发明涉及一种纳米柱森林的加工方法,其步骤包括:1)准备并清洗所选用的衬底;2)在衬底的表面上旋涂光刻胶,并对光刻胶依次进行前烘、曝光和显影,最后形成光刻胶图形;3)对光刻胶图形进行氧等离子体干法刻蚀,在衬底上形成一层图形化的纳米点状结构;4)用纳米点状结构为掩模,各向异性刻蚀衬底,形成初始纳米柱;5)在初始纳米柱表面保形沉积薄膜;6)通过各向异性刻蚀薄膜,在初始纳米柱的周围形成侧墙;7)以包裹侧墙的初始纳米柱为掩模,各向异性刻蚀衬底,形成纳米柱;8)去除纳米柱表面上的侧墙残留,得到图形化的纳米柱森林结构。使用本发明制作的图形化纳米柱森林可广泛应用于新能源器件、生物医学检测器件、微流控器件、电子器件以及纳米压印中。
声明：
“纳米柱森林的加工方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
新能源
上一个：多中心无铁芯线圈的永磁电机
下一个：多逆变器太阳能光伏并网发电系统的组群控制方法

与 “纳米柱森林的加工方法” 相关技术

▪ 镍基合金再生料高纯净冶炼装备及方法
▪ 利用稀土冶炼的化选废水回收氟化钙及稀土的方法
▪ 金属冶炼毛坯锭分料装置
▪ 冶炼用直流矿热炉
▪ 金属冶炼炉用具有报警保护功能的冷却系统
▪ 金属冶炼用合金添加装置及添加方法
▪ 用于有色金属冶炼的废料收集处理装置
▪ 热兑生产低微碳铬铁合金冶炼电弧炉
▪ 采用永磁滚筒驱动的矿山物料输送装置
▪ 上下双滚筒永磁干式磁选机

相关新能源材料设备推荐

顶侧封装一体机
方形动力模组智能生产线
锂电池PACK生产线
白银
晶体材料：金属铜单晶（Cu）
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪镍基合金再生料高纯净冶炼装备及方法
▪利用稀土冶炼的化选废水回收氟化钙及稀土的方法
▪金属冶炼毛坯锭分料装置
▪冶炼用直流矿热炉
▪金属冶炼炉用具有报警保护功能的冷却系统
▪金属冶炼用合金添加装置及添加方法
▪用于有色金属冶炼的废料收集处理装置
▪热兑生产低微碳铬铁合金冶炼电弧炉
▪采用永磁滚筒驱动的矿山物料输送装置
▪上下双滚筒永磁干式磁选机

报名参会
更多+

2025有色金属智能工厂大会
2025有色金属智能工厂大会
2025年03月20日 ~ 22日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月21日 ~ 23日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月21日 ~ 23日
第四届复杂有色金属资源清洁利用学术论坛
第四届复杂有色金属资源清洁利用学术论坛
2025年03月21日 ~ 23日
第五届全国异质材料焊接与连接技术交流会
第五届全国异质材料焊接与连接技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:224
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:117
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:115
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:113
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8硅羟基磁珠及其合成方法、应用
9钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
10石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记