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具有涂层的碳碳埚邦

896   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:04:02
一种具有涂层的碳碳埚邦，包括埚邦本体以及包裹在埚邦表面的复合涂层，埚邦本体为无底圆形碗体形结构，复合涂层包括从内而外喷涂的粘附层、多层纳米涂层和强化防护涂层，粘附层为氮化铬涂层，纳米涂层为纳米级碳化硅涂层和氮化硅涂层交替沉积的多层涂层，强化防护涂层为氮化钛铝涂层。本实用新型利用表面增加复合涂层，实现埚邦表层的封孔处理，使得埚邦表层气密性较好，可封闭碳碳复合材料内存的低温未烧结杂质，从而减少该类杂质的扩散，提高客户的使用品质，并且其高致密性和耐磨性材料的应用可以有效隔离单晶炉内硅氧化合物侵蚀并减少硅蒸汽附着，从而提升碳碳埚邦本体的抗腐蚀性，提高碳碳埚邦的使用寿命。
声明：
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