本申请公开了一种固晶机摆臂的减振结构,包括摆臂主体、摆臂支撑板和摆臂螺栓板;摆臂主体与摆臂支撑板通过螺栓连接;摆臂螺栓板与摆臂支撑板连接;摆臂支撑板由
碳纤维增强基
复合材料制成,摆臂主体和摆臂螺栓板由镁合金材料制成。本申请所公开的固晶机摆臂的减振结构通过根据摆臂的不同部位、不同厚度的刚度敏感区域,定义相对应的材料,降低了摆臂在高频高加速的往复摆动下的振动和缩短了振动稳定时间,解决了摆臂运动到目标位置时振动幅度过大、定位精度低、稳定时间长等问题,提高摆臂的工作效率与定位精度,可应用于多种不同结构的摆臂上,从而实现对摆臂进行减振的目的,达到了提高固晶机取晶、固晶的效率和精度的效果。
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