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内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置

990   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:03:16
本实用新型公开了一种内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置，包括双层石英管，双层石英管包括外层石英管（1）和内层石英管（2），所述双层石英管首端以第一管路（24）连接氩气气源（14），所述双层石英管末端以第二管路（22）连接真空泵（20），其特征在于，双层石英管从首端到末端依次包括等离子体反应区、第一加热区和第二加热区，内层石英管（2）和外层石英管（1）首端对齐，内层石英管（2）末端延伸至第二加热区，所述等离子体反应区于外层石英管（1）外设置有等离子极栅（9），等离子极栅（9）连接射频电源（10）。该装置可以有效地在陶瓷基质复合材料内部形成多功能涂层，为过滤器提供高刚性和良好的耐化学性。
声明：
“内置反应管分压式化学气相沉渗透镀膜装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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