合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 复合材料技术

> 超小型MEMS陀螺仪传感器

超小型MEMS陀螺仪传感器

845   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:02:02
本实用新型公开了一种超小型MEMS陀螺仪传感器,其包括一MEMS晶圆,在MEMS晶圆内挖槽后填埋密度大于硅的金属于槽内形成复合材料的质量块,该MEMS晶圆周围形成一固定框架,该质量块通过至少一弹簧与固定框架连接。本实用新型能够适当优化器件性能,以及大大缩小质量块的面积尺寸。
声明：
“超小型MEMS陀螺仪传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
复合材料
上一个：0度及90度角双轴向碳纤维经编布
下一个：螺纹拧紧式压窝模具

与 “超小型MEMS陀螺仪传感器” 相关技术

▪ 连续加料生产铜杆的连铸装置及方法
▪ 超薄铜板带边缘裂纹消除方法
▪ 光伏电网安全性提高电路及方法
▪ 光储充系统及其控制方法、控制装置
▪ 利用镍残极制取硫酸镍溶液的方法
▪ 连续动态称重带式给料机
▪ 矿山机械设备放线架
▪ 用于矿山辅助运输智能调度平台的创建方法
▪ 用于矿井提升机的矿井井口防护装置
▪ 切割槽天井钻机的动力系统

相关复合材料设备推荐

铝合金拉弯矫直机
石墨烯石墨化炉
涡流分选机
锂电池用高温包覆釜
自动阴极洗刷机组
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪连续加料生产铜杆的连铸装置及方法
▪超薄铜板带边缘裂纹消除方法
▪光伏电网安全性提高电路及方法
▪光储充系统及其控制方法、控制装置
▪利用镍残极制取硫酸镍溶液的方法
▪连续动态称重带式给料机
▪矿山机械设备放线架
▪用于矿山辅助运输智能调度平台的创建方法
▪用于矿井提升机的矿井井口防护装置
▪切割槽天井钻机的动力系统

报名参会
更多+

2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:224
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:117
4 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:114
5 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:113
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:99
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:70
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记