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超小型MEMS陀螺仪传感器

816   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:02:02
本实用新型公开了一种超小型MEMS陀螺仪传感器,其包括一MEMS晶圆,在MEMS晶圆内挖槽后填埋密度大于硅的金属于槽内形成复合材料的质量块,该MEMS晶圆周围形成一固定框架,该质量块通过至少一弹簧与固定框架连接。本实用新型能够适当优化器件性能,以及大大缩小质量块的面积尺寸。
声明：
“超小型MEMS陀螺仪传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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