本实用新型公开了一种复杂曲面工件检测用64信号源5MHz柔性可弯曲超声波相控阵探头,压电晶片是厚度为300微米的压电陶瓷和环氧
复合材料,压电晶片的频率是5MHz,压电晶片的下表面通过磁控溅射镀有下电极层,压电晶片的上表面通过磁控溅射镀有上电极层,上电极层和下电极层的厚度是50微米,下电极层上焊接64根下电极引线,上电极层上焊接64根上电极引线,电学模块并联在上电极引线和下电极引线之间,声学匹配层粘接到压电晶片的下电极层的表面,压电晶片和上电极引线、下电极引线固化在柔性壳体中,上电极引线和下电极引线与同轴电缆连接,护线套安装在同轴电缆上,其设计科学合理,结构简单,使用方便。
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