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基于磁电效应的声表面波磁传感器

1041   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:01:57
本实用新型声表面波磁传感器利用磁电复合材料的谐振频率随磁场而变化的或特性测量磁场，其所述压电薄膜远离叉指电极的方向还设置有磁致伸缩薄膜、铁磁或反铁磁层和衬底基片，所述铁磁或反铁磁层位于所述磁致伸缩薄膜和衬底基片之间形成一堆栈结构。本实用新型的磁传感器具有高灵敏度、高分辨率、易于微型化、与MEMS和CMOS等工艺相兼容、功耗和成本低、驱动电路简单等优点，可辨别外磁场的方向，而且直接输出数字信号，可与现代数字系统直接通讯，无须连接模/数转换器。
声明：
“基于磁电效应的声表面波磁传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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