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大型环形气相沉积炉

1052   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 18:00:53
本实用新型涉及炭/炭复合材料气相沉积设备技术领域，具体公开了一种大型环形气相沉积炉。其包括炉体、炉盖及炉底板，在所述炉体内从外到里依次设有圆筒形保温筒、外发热体、外沉积筒，其特点在于，在所述外沉积筒内还设有内沉积筒，所述内沉积筒内设有圆筒形内发热体，在所述内沉积筒和外沉积筒之间形成环形炉膛，所述环形炉膛的顶部设有炉膛盖，所述环形炉膛的底部设有环形沉积底板，所述炉底板上设有多个进气管，所述保温筒的顶部设有保温盖。所述进气管沿环形沉积底板呈环形均布。其与已有技术相比具有能充分利用炉膛空间，适应沉积大型环形工件和小型工件，升温时间较短，温度均匀性较好，产品一致性较好，造价低廉，维护方便等特点。
声明：
“大型环形气相沉积炉” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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