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CVD反应炉过滤装置

949   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:59:49
本实用新型提供一种CVD反应炉过滤装置，涉及复合材料制备的技术领域，包括沉积桶，所述沉积桶的出气管连接有过滤机构，所述过滤机构包括壳体，所述壳体底部从下到上依次设有阻隔板和转盘，所述壳体顶部设有通板，所述阻隔板与所述通板之间形成过滤腔，所述转盘设于所述过滤腔内，所述转盘上连接有转筒，所述沉积桶的出气管伸入至转筒内；所述过滤腔内还设有引流筒，所述引流筒设于所述转筒内，所述引流筒的顶部与所述通板连接，所述通板上设有通孔，以使所述引流筒与所述过滤腔连通，所述引流筒的底部伸出所述转盘和所述阻隔板，所述壳体底部还设有引风机，所述引风机的进气管与所述引流筒的底部连接。
声明：
“CVD反应炉过滤装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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