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炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置

935   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:26
本实用新型公开了一种炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置,涉及炭/炭复合材料化学沉积技术领域。炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置,包括沉积室;沉积室包括下分气板、内圈保温筒预制体、坩埚预制体、导流罩预制体和上分气板,分气板上开设有进气孔,内圈保温筒预制体放置在分气板上,坩埚预制体放置在内圈保温筒预制体内的分气板上,导流罩预制体放置在坩埚预制体内的下分气板上,沉积室的顶部放置有上分气板。本装置的沉积室内设置有多个不同尺寸预制体,类似套娃结构,并同心布设,大大提高装炉量的同时,提高了生产量,节约了生产成本;本实用新型具有实用性强、操作简单,易于推广使用等特点。
声明:
“炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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