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炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置

878   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:26
本实用新型公开了一种炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置，涉及炭/炭复合材料化学沉积技术领域。炭/炭热场材料生产用化学气相渗透装置，包括沉积室；沉积室包括下分气板、内圈保温筒预制体、坩埚预制体、导流罩预制体和上分气板，分气板上开设有进气孔，内圈保温筒预制体放置在分气板上，坩埚预制体放置在内圈保温筒预制体内的分气板上，导流罩预制体放置在坩埚预制体内的下分气板上，沉积室的顶部放置有上分气板。本装置的沉积室内设置有多个不同尺寸预制体，类似套娃结构，并同心布设，大大提高装炉量的同时，提高了生产量，节约了生产成本；本实用新型具有实用性强、操作简单，易于推广使用等特点。
声明：
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