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大型化学气相沉积炉双区加热体

1100   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:25
本实用新型涉及化学气相沉积炉技术领域，尤其是一种大型化学气相沉积炉双区加热体，包含两个相互独立的加热体一和加热体二，所述加热体一呈圆柱形环绕炉腔，所述加热体二呈圆盘形，位于炉腔底部，本实用新型的有益效果是，加热体一环绕炉腔，提供较大的加热面积，而炉腔底部通过加热体二辅助加热，从而避免炉腔中心部位温度低，保证大型沉积炉温度的均匀性，从而确保炉体中炭/炭复合材料的沉积效果。
声明：
“大型化学气相沉积炉双区加热体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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