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化学气相沉积炉流场控制装置

776   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:25
本实用新型涉及化学气相沉积法制备碳碳复合材料的设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉流场控制装置。它装配于沉积炉内，包括设置于沉积炉的炉底的进气口上方的混流器，所述混流器的顶部连接导流柱，所述导流柱上设置有与其同轴并位于其中上部的挡板，分气板位于所述导流柱下部空间并与所述混流器顶部重合，不同类型的产品根据尺寸大小由小到大、由内至外依次放置于所述分气板上；所述分气板将沉积炉分为至少一层，碳源气体和载气在所述混流器处发生混合后经所述分气板分流，从第二层开始由所述导流柱的顶部通孔补气。本实用新型提出的装置装配简单，增加了装炉产品的种类和数量，提高生产质量和生产效率。
声明：
“化学气相沉积炉流场控制装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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