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用于铝材表面沉积类金刚石膜的装置

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:24
本实用新型公开的用于铝材表面沉积类金刚石膜的装置,包括绝缘材料制的反应室,反应室与化学气相沉积的供气系统及真空系统相连通,在反应室内设有由陶瓷围成的封闭室和两块上下平行的电极,其中上电极位于封闭室中,其下表面紧贴封闭室的底板面,上电极与等离子体激发脉冲电源相连,下电极接地并固定在封闭室外的加热器上,加热器与反应室外的加热温控装置相连,在加热器的底部安装有用于调节上、下两电极间距的螺杆,供气管的喷嘴位于两平行电极间。该装置结构简单,使用方便。应用该装置可以实现在铝材表面涂覆类金刚石薄膜,大大提高了AL/DLC复合材料的表面硬度、耐腐蚀性和电绝缘性等综合性能。且成膜迅速,膜厚可达4-6ΜM而不脱落,结合牢固。
声明：
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