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磁电天线的层合结构

903   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:58:23
本实用新型公开的磁电天线的层合结构，包括Si衬底，Si衬底上依次连接有Mo电极层、AIN压电层和FeGa磁致伸缩层，Si衬底与Mo电极层接触面之间开有空气槽。本实用新型采用2‑2层叠型磁电复合材料较其他结构类型具有低漏电、易合成、磁电耦合能力强的优点；本实用新型采用空气隙型FBAR作为谐振结构，机械牢度更好，制备时更易达到精度要求。
声明：
“磁电天线的层合结构” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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