本实用新型涉及一种双行程混合驱动微纳米压痕/划痕测试装置,属于精密传感器及精密仪器技术领域。由混合驱动单元、载荷检测与量程切换单元、位移检测单元、样品移动单元、基座、支撑板和导轨滑块组件组成。本实用新型利用音圈电机、压电叠堆‑柔性铰链实现混合驱动,通过调整屏蔽罩(架)与力传感器装配关系,采用分段载荷检测与量程切换方式,结合位移检测单元可实现不同加载行程和压入载荷的精确测量,并集成样品移动单元用于实现对样品的压入位置更换以及划痕测试。采用模块化设计思路,结构紧凑,安全可靠,既可实现对块状金属材料、薄膜材料及
复合材料等常规纳米压痕/划痕测试,又可对生物组织等软材料进行大行程加载测试,实用性更强。
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