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化学气相共沉积与渗透先驱体自动供给装置

920   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:56:54
本实用新型属于复合材料技术,涉及对化学气相共沉积与渗透装置使用的先驱体自动供给装置的改进。它包括碳先驱体供给部分、惰性气体供给部分、陶瓷先驱体自动供给部分和可编程序控制器4,其特征在于,有一个总先驱体混合罐15,它的内腔通过管路分别与陶瓷先驱体混合罐13和碳先驱体混合罐14的内腔连通,并且通过管路16与化学气相共沉积与渗透装置连接。本实用新型可以同时进行碳和陶瓷的沉积与渗透。
声明：
“化学气相共沉积与渗透先驱体自动供给装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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