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单晶硅生长炉用保温隔热筒

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:55:25
本实用新型公开了一种单晶硅生长炉用保温隔热筒，其包括外保温筒，其特征在于，在所述外保温筒的内壁设有内隔热屏，所述内隔热屏由炭/炭复合材料制成。所述内隔热屏包括依次套接的至少两个以上的分段隔热屏。所述各分段隔热屏之间设有止口或坡口连接结构，所述各分段隔热屏之间还可以通过连接环连接。优选方案是所述内隔热屏包括三个分段隔热屏，依次为上段隔热屏、中段隔热屏及下段隔热屏，所述下段隔热屏上设有通孔，所述外保温筒由石墨毡或炭毡制成。本实用新型用于单晶硅生长炉具有较高的高温强度，和较低的热导系数。不仅降低了保温隔热筒厚度，而且降低了保温隔热筒的更换成本。
声明：
“单晶硅生长炉用保温隔热筒” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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