本实用新型涉及一种复合型碳化硅板,主要是解 决普通碳化硅板在强氧化环境中易被氧化、影响使用寿命的问 题。它包括碳化硅基板,其特征在于碳化硅基板表面上压制一 层由
复合材料构成的复合层。复合层与SiC层结合面粗糙,互 相渗入。复合层的主要成分为轻烧α- Al2O3、ZrO2。本实用新型中的复 合层在烧成温度、热膨胀系数、烧成线变化等诸多方面与SiC 基板相同或相近,在高温(1400℃)室温的变化中不会脱落、剥 离,达到与基板共寿命,并保护SiC基板不被氧化。
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