本实用新型公开了一种用于机械零部件表面耐磨损、耐腐蚀的复合涂层,其复合涂层包括过渡层和功能层,过渡层由铬、钛或镍纯金属制备且位于功能层和工件表面之间。复合涂层的制备方法,包括以下工艺步骤:①工件经清洗并烘干后,置于非平衡磁控溅射镀膜设备的真空室中;②真空压力设为3×10-3Pa;温度设为200℃~500℃并保温30分钟;保温同时对工件进行等离子体清洗;③ 通入氩气利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层,④ 使用氩气作为工作气体,通入氮气反应气体制备功能层⑤ 工件随炉冷却到100℃以内,取出即可。本实用新型采用
复合材料表面设计方法,采用两层结构(过渡层、功能层)来用于提高机械零部件表面性能。
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