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ScB2-B超硬复合薄膜及其制备方法

953   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:54:19
本发明提供了一种ScB2‑B超硬复合薄膜及其制备方法。所述的ScB2‑B超硬复合材料，其特征在于，其化学式为(1‑x)ScB2‑xB，其中0＜x≤0.6。所述ScB2‑B复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：清除衬底表面杂质，腔体预加热，衬底表面清洗刻蚀，采用用Sc、B两靶磁控共溅射制备得到ScB2‑B复合薄膜，通过控制两个靶位电源功率和溅射时的腔体压强等来实现组分的调节，可以获得不同物理属性(模量、硬度、热膨胀系数等)的组成，满足不同的使用需求和使用场景。本发明所提供的硼化钪硬度高，适用于机械加工、油井钻探和航天航空等许多领域广泛应用。
声明：
“ScB2-B超硬复合薄膜及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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