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包含耐溅射材料的极端紫外线辐射反射元件

1012   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:53:02
本发明涉及改进的EUV反射元件,包括:a)第一层,基本上由高反射性材料制成;b)第二层,厚度≤5nm,基本上由耐溅射性≤10nm/108次射击的材料制成,并且由此第二层被设置在入射的和/或反射的EUV光的路径中。
声明：
“包含耐溅射材料的极端紫外线辐射反射元件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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