本发明是针对采用气相沉积方法制备材料的设备,此设备可用于多晶块体材料的生长。特别地采用该设备可制备出以硒化锌为基底、表面涂有硫化锌的块体
复合材料。制备硒化锌/硫化锌复合光学材料的设备包括炉,与控制面板、真空系统、水冷系统以及动力变压器相连。炉体内放置加热体,加热体内部装有反应容器,炉体内部装有隔热挡板,炉壁上有用于连接通风系统和真空系统的孔、温度传感器、真空传感器以及连接大气的通风开关,炉体与炉盖具有水冷结构。加热器由石墨制成,圆柱体结构,沿着它的高度方向开槽,加热体侧壁厚度是变化。该发明成果主要是对设备的工艺性能及其相应部件进行改善,最终获得热力学性能和力学性能较为理想的高品质光学材料。
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“制备硒化锌/硫化锌光学材料的设备、炉、炉用加热体” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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