测量范围可调的各向异性磁电阻传感器及其制备方法,包括基底、顶电极、磁性层、底电极和导电层;顶电极设置在基底的上表面,底电极设置在基底的下表面,磁性层和导电层均设置在顶电极的上表面,且导电层设置在磁性层的周围。本发明利用磁电
复合材料中的磁各向异性场可受电场调控的原理,在压电基底上制备AMR磁阻传感器,通过外加电场控制磁阻效应的大小和饱和磁场,进而实现对磁阻传感器的灵敏度和线性检测范围的调控,实现了使用电场对磁阻材料内部磁化方向的调节,与传统的磁场调控、硬磁偏置等方法相比,电场调控具有效率高、体积小、能耗低、易于集成的特点。
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