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基于面内伸缩模态谐振器的MEMS磁场传感器及制备方法

915   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:51:40
本发明公开一种基于面内伸缩模态谐振器的MEMS磁场传感器及其制备方法，谐振器的矩形振子由层合结构的磁电复合材料构成，由两端的固定梁支撑，悬于硅衬底上的空心区域之上。矩形振子包含从下而上依次设置叠加的底电极层、压电层、粘合层、低电阻金属层和软铁磁性合金层。底电极为梳齿状结构，其延伸部分沿固定梁延长到外部的硅衬底上，用于接驳外部电路。在底电极的外部延伸终点处，压电层开通孔以露出下层铂电极基板。振子的固定梁部分由压电层和底电极的延伸部分构成。谐振器的谐振频率由谐振器的振子材料、薄膜厚度以及电极尺寸共同决定。采用该谐振器的磁场传感器可测量磁场的幅度且结构简单，灵敏度高，能耗低，并与半导体制造技术兼容。
声明：
“基于面内伸缩模态谐振器的MEMS磁场传感器及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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