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用于机械机械锁芯表面耐磨损层加工工艺

795   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:50:09
本发明公开了一种用于机械机械锁芯表面耐磨损层加工工艺，其特征在于包括以下工艺步骤：1、锁芯经去油、去屑后，经超声波清洗并烘干后，置于非平衡磁控溅射镀膜设备的真空室中；2、开启非平衡磁控溅射设备的真空系统，将真空室内的真空抽到3×10‑3Pa；将机械零部件加热到200℃～500℃保温30分钟；在保温过程中，同时对锁芯进行等离子体清洗；3、使用氩气作为工作气体，利用非平衡磁控溅射方法制备过渡层，根据工件服役特点，过渡层的厚度制备在0.4μm~2μm之间；4、使用氩气作为工作气体，通入反应气体制备功能层，根据工件服役特点，功能层的厚度制备在0.2μm~8μm之间。本发明采用复合材料表面设计方法，采用两层结构。
声明：
“用于机械机械锁芯表面耐磨损层加工工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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