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光波导制造方法

861   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:50:09
一种光波导的制造方法，通过：(a)沉积第一组合物，该第一组合物包括：(i)包含环氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)分子量不大于1000且折射率至少为1.47的包含环氧基的化合物；以及(iii)光致产酸剂；和(iv)氢化硅烷化催化剂，(b)通过暴露于紫外光下固化第一组合物；(c)去除第一组合物的未固化部分的至少一部分以产生最终的图案化芯层；(d)在最终的图案化芯层上沉积第二组合物，以产生复合材料，该第二组合物包含：(i)包含环氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)包含环氧基和硅‑氢键的化合物，其分子量不大于1000且折射率不大于1.45；(iii)光致产酸剂；(e)在20至150℃的温度下加热0.1至120分钟；和(f)通过暴露在紫外线下固化。
声明：
“光波导制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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