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提高类富勒烯薄膜结合力和摩擦学性能的方法

744   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 17:50:09
本发明公开了一种提高类富勒烯薄膜结合力和摩擦学性能的方法。该方法利用等离子体增强化学气相沉积技术，利用氮气、磷化氢和甲烷作为气源，在射频电源和脉冲负偏压的共同作用下在基底上沉积类富勒烯薄膜。其特点是：工艺简单，经济高效，沉积温度低，重复性好，摩擦系数极低，钢基底与类富勒烯薄膜结合力提升效果明显。采用这种方法能够大幅度提升类富勒烯薄膜的结合力和摩擦学性能，使类富勒烯薄膜起到更好的润滑效果。此方法不仅适用于不锈钢表面，在陶瓷、高分子材料、复合材料等材料领域也同样适用，具有广阔的应用前景。因此该发明所提供的提高结合力和摩擦学性能的方法应用潜力巨大。
声明：
“提高类富勒烯薄膜结合力和摩擦学性能的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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