本发明公开了一种应用
碳纤维包覆金属杆制备硅片承载器制品及其制备方法,碳纤维包覆金属杆制品是将金属杆外粘合碳纤维,在金属杆外形成耐腐蚀碳纤维保护层,然后在碳纤维外可以采用注射塑料或用空心塑料杆组装的方法,制备硅片承载器。以碳纤维包覆金属杆为拉杆增强材料,有效增加了拉杆的强度,同时由于碳纤维内包入了金属,增加了
复合材料的平均密度,有效防止了硅片承载器在酸、碱溶液中清洗时易翻车的问题,同时在金属杆外增加了碳纤维防腐蚀层,与外层塑料形成了多层保护,且外层塑料与碳纤维杆结合牢固,提高了硅片承载器的使用寿命。
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